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真空气氛箱式炉的使用注意事项

发表日期:2024.09.05
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真空气氛箱式炉的使用注意事项


真空气氛箱式炉配备急停按钮,超温报警功能,提高了设备使用的安全性。加热腔室可用于真空或气氛环境下的物料焙烧。

  真空气氛箱式炉广泛应用于材料科学、化工、金属热处理、电子工业等领域。它能够在无氧或低氧环境中进行加热,以避免氧化和其他不希望发生的化学反应。


 

真空气氛箱式炉的用途

 

材料退火:在真空或保护气氛中对金属材料进行退火,以消除内部应力,改善材料的微观结构。

化学气相沉积:在真空条件下进行化学反应,沉积薄膜或涂层。

烧结:在真空或特定气氛中烧结粉末材料,制备高性能的陶瓷或复合材料。

金属热处理:进行淬火、回火等热处理过程,改善金属的机械性能。

半导体加工:在特定气氛中进行氧化、扩散等工艺,制造半导体器件。

科研实验:进行材料合成、晶体生长等科学研究。

 

 

真空气氛箱式炉的使用注意事项:

 

确保操作人员接受专业培训,了解设备的工作原理和操作规程。

 

在使用前检查真空泵、加热系统、气体输送系统等是否正常工作。

 

关闭炉门,启动真空泵,抽除炉内空气至所需的真空度。

 

根据设定的程序,逐步加热至所需温度,并保持恒温。

 

在需要特定气氛时,调节气体流量和成分,进行化学气相沉积或烧结等工艺。

 

完成加热后,按照工艺要求进行冷却,可以是自然冷却或快速冷却。

 

待炉内温度降至安全范围后,打开炉门,取出处理后的样品。

 

使用后进行设备清洁和维护,检查易损件,确保设备长期稳定运行。

 

严格遵守安全操作规程,特别是在高温和真空环境下工作时。

 

定期对设备进行校准和维护,保证工艺参数的准确性和设备的可靠性。

 

记录每次使用的数据和结果,以便于工艺优化和问题追踪。

 

电炉第一次使用或长期停用后再次使用时,必须进行烘炉,以免造成炉膛开裂。

 

经常保持清洁,定期检查电炉接线是否接触良好。

 

电炉使用时,炉温不得超过额定温度,以免损坏加热元件。

 

在工作过程中,300℃以下,升温速率不宜过快;300℃以上,升温速率可以在10℃以内。

 

装取试样时一定要切断电源,以防触电;炉门开启时间应尽量短,以延长电炉使用寿命。

 

禁止向炉内灌注各种可燃性液体及熔解的金属。

 

箱式气氛炉可在炉膛内通入惰性气体,氮气等;不可在酸、碱、盐等腐蚀性、挥发性气氛中使用。

 

箱式气氛炉只能微正压操作,正压≤0.02Mpa,如果正压过大,可以手动打开出气阀门进行泄压。

 

设备放置地点应选择在空气流通、无震动、无冲击、无倾斜的场所;仪器应安装在无导电、无尘埃、无破坏绝缘性能的气体或者蒸汽的环境中。

 

使用产品前请仔细阅读本使用说明书,并请妥善保管。

 

如果在使用过程中,发现仪器有异味或有异常噪音时,应立即切断电源,然后技术工程师。