雅马拓YAMATO小型等离子清洗机PDC200/PDC210/PDC510
广州金程科学仪器公司供应的雅马拓YAMATO等离子清洗机PDC200/PDC210/PDC510，均匀性高的电极构造，操作简单的触摸屏控制器，适用于研究开发的小型等离子清洗机。别名：等离子表面处理仪、等离子清洁机
品牌: 雅马拓YAMATO
型号: PDC200/PDC210/PDC510
产品详情
雅马拓YAMATO等离子清洗机PDC200/PDC210/PDC510，适用于研究开发的小型等离子清洗机。
仪器特点：
DP模式（PDC510标配·PDC200/210选配）。
RIE模式。
均匀性高的电极构造。
操作简单的触摸屏控制器。
技术参数：
型号 | PDC200 | PDC210 | PDC510 |
等离子模式 | RIE（DP模式选配） | ||
电极构造 | 平行平板（固定） | ||
高频输出 | Max300W | Max500W | |
频率 | 13.56MHz | ||
反应腔尺寸 | W400xD250Lx150mm | W500xD300Lx200mm | |
电极尺寸 | W250xD170mm | W400xD200mm | |
反应室材质 | 2系统（Ar、O2） | ||
填充气体 | N2或干燥空气 | ||
反应气体流量控制 | 流量计 | 聚合控制器 | |
真空泵 | 另行选配 | 油泵（约345L/分）标配 | 油泵（500L/分）标配 |
气体导入口 | 反应气体2个、填充气体1个 | ||
外形尺寸 | W540xD600xH600mm | W540xD600xH600mm | W700xD700xH1285mm |
重量 | 约100KG | 约105KG | 约180KG |
电源 | 单相AC100V 10A | 三相AC200V 6A | 三相AC200V 8A |
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