科幂化学气相沉积微型单温区CVD系统管式炉TFC-1200-60-I-440
广州金程科学仪器公司供应的科幂TFC-1200-60-I-440微型单温区CVD系统管式炉是一款小型化学气相沉积薄膜类制备设备，该设备在常规产品上进行了一东列的改进。包括：供气系统集成、真空系统集成等。体现出体现小、操作方便、智能化程度高等特点。微型单温区CVD系统管式炉温度可达1200°C。
品牌: 安微科幂
型号: TFC-1200-60-I-440
产品详情
科幂化学气相沉积微型单温区CVD系统管式炉TFC-1200-60-I-440是一款小型化学气相沉积薄膜类制备设备，该设备在常规产品上进行了一东列的改进，包括：供气系统集成、真空系统集成等。体现出体现小、操作方便、智能化程度高等特点。
仪器特点：
双层空气冷却钢壳保持炉表面温度低于60°C；
高纯状氧化铝纤维绝缘层，节约能源;
炉膛和加热元件上的特殊耐火涂层可延长炉子的使用寿命。
技术参数：
型号： | TFC-1200-60-I-440 |
炉管尺寸： | Ф60*1000mm (Ф30/50/80/100mm可选) |
最高温度： | 1200℃(短期) |
工作温度： | 1100℃ |
升温速率： | ≤10℃/min |
加热区长度： | 440mm |
额定功率： | 3kW |
适配电源： | AC220V 50/60Hz |
温控系统： | K型热电偶，集成式触摸屏控制 |
控温精度： | ±1℃ |
密封系统： | 炉管两端配有快开式密封法兰 |
外形尺寸： | 620*420*580mm |
气体量程： | 100~1000SCCM |
气路数量： | 2~4路(MFC) |
气路工作温度： | 5~45℃ |
VRD-8： | 最大承载量:1000Lbs; 抽气速率:10m³/h； 极限真空度:10-1Pa |
真空度： | 双极旋片机械泵:极限10^-1Pa ； 分子泵机组:极限10^-3Pa |
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