CIF紫外臭氧清洗机UVO/UVOP/UVOT
广州金程科学仪器公司供应的紫外臭氧清洗机(UVO), 是一种简单,经济,快速高效的材料表面清洗设备,能快速去除大多数无机基材(比 如石英,硅片,金,镍,铝,砷化镓,氧化铝等)上的有机污染物。紫外臭氧清洗机采用长寿命UV 石英低压汞蒸汽格栅灯,样品台高度可调,可选加热控温,以便达到最佳清洗效果。
品牌: CIF赛福
型号: UVO/UVOP/UVOT
紫外臭氧清洗机(UVO), 是一种简单,经济,快速高效的材料表面清洗设备,能快速去除大多数无机基材(比 如石英,硅片,金,镍,铝,砷化镓,氧化铝等)上的有机污染物。紫外臭氧清洗机采用 长寿命UV 石英低压汞蒸汽格栅灯,样品台高度可调,可选加热控温,以便达到最佳清洗效果。
通过紫外灯发出适当强度的185nm 和 2 5 4nm 波长高能紫外线破坏有物分子(污染物)。185nm 波长紫外光的光能 量能将空气中的氧气(O2) 分解成臭氧(O3), 而 2 5 4nm 波长的紫外光的光能量能将O3 分解成 O2 和原子氧(O), 254 nm 紫外线同时激发表面的有机物分子,提高其敏感性,可以被臭氧分子团破坏。在连续进行的光敏氧化反应中,生成的 活性原子氧(O) 与活化了的有机物(即碳氢化合物)分子发生氧化反应,生成挥发性气体(如CO2,CO,H2O,NO 等 ) 逸 出材料表面,从而清除粘附在材料表面上的碳和有机污染物,达到清洗的目的。
石英/玻璃制品的表面清洗:液晶面板,等离子电视屏幕,彩色过滤片,光罩,棱镜,透镜,反射镜,平板电视等。
微电子产品的表面清洗: 微型马达轴,磁头驱动架,光盘,光电器件,手机摄像头,微型喇叭/受话器震膜,半导体硅片,掩膜版。
精密集成电路的表面清洗: 液晶显示器ITO,精密电路板,软性电路板接头,BGA 基板的清洗,COG 的清洗,COF(ILB) 接合面的清洗,薄膜基板的清洗,金属基板的清洗,BGA 基板与粘结垫的清洗。
在胶粘接或是印刷之前,对高分子聚合制品的表面改性: 橡胶粘接,塑料汽车部件,透镜保护膜,塑料薄膜,树脂成型 空气袋,IC包装,注射针接合部分的表面性,介入导管的表面改型等。
科研过程的表面清洗及处理: 半导体,生物芯片,纳米材料,聚合物,光化学等。
UVO基础型系列采用可编程数字控制器,设置操作简单方便,四键操作控制。UVOP、UVOT系列采用5寸彩色触摸屏中英文互动操作界面,设置显示计时时间及加热温度。
自动补偿功能,自动恒定光强光密度,不会因为低压汞灯老化光强衰减影响清洗效果。
数字倒计时显示清洗时间,1-999分钟之间可自行设置清洗时间。
任何时间可以手动中断处理过程。
自动记录之前清洗参数设置。
样品台可控温(可选),控温范围RT-200℃, 控温精度0.1℃。
顶置下压式铰链开关盖方式,操作简单方便。
上置式样品台设计,360度自由放置样品,操作方便。
样品台高度可调,通过调节灯与样品之间的间距,可以合理定位样品高度和位置,并可锁定。 ◆UV 石英低压汞蒸汽格栅灯,灯管寿命大约为8000 小时。
高强度UV 灯源,波长185nm 和 2 5 4nm。
可累计计时 UV 格栅灯使用时长,更换提示。
UV 反射罩(长X 宽 ) 比UV 格栅灯大25mm。
双重安全保护,带有安全锁,当清洗腔打开时,系统自动关掉 UV 灯,并有灯光通断提示。
带进&出气口双气路设计。
可接入氧气或者臭氧,增加臭氧产量。
UVO5可选外置臭氧中和器, UVO9、UVO13系列可选外置或者内置臭氧中和器,用于臭氧清除。
可根据客户要求定制铝或石英材料真空反应腔。
产品型号 | UVO5/UVO5P/UVO5T | UVO9/UVO9P/UVO9T | UVO13/UVO13P/UVO13T |
UV灯尺寸 | 130x130mm | 230x230mm | 330x330mm |
样品台高度 | 0-50mm可调 | 0-50mm可调 | 0-50mm可调 |
电源 | AC220V 50/60Hz 140/190/690W | AC220V 50/60Hz 140/190/690W | AC220V 50/60Hz 140/190/1160W |
外型尺寸 | L260xW320xH200mm | L370xW470xH200mm | L465xW575xH200mm |
包装尺寸 | L375xW470xH390mm | L490xW600xH320mm | L575xW680xH320mm |
整机重量 | 8kg | 15kg | 18kg |
注: UVO 型基础型样品台不带加热功能,样品台高度可调;UVOP 可选配样品台加热功能,样品台高度可调;UVOT 标配样品台加热功能,样品台高度可调。可选臭氧中和装置。
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